"Интерфакс": физики возродят советский синхротрон для производства микросхем - «Технологии»

Микросхема

©

Логачев отметил, что институт разработал установку еще на рубеже 1980-1990 годов, но ее не запустили из-за развала СССР.

Ученый пояснил, что с технической точки зрения ТНК представляет собой источник синхротронного излучения, корпус для установки, расположенный рядом с заводом "Микрон" в Зеленограде, принадлежит Курчатовскому институту.

"Мы запустим этот комплекс через три года, он будет основным элементом разработки литографа", — пояснил он и отметил, что стоимость проекта составляет примерно полмиллиона рублей.

Логачев также сообщил, что ИЯФ начал разрабатывать ускорительную часть отечественного имплантора для микроэлектроники — устройства, работа по которому ведется совместно с НИИ точного машиностроения (Зеленоград), разрабатывающим систему подготовки и перемещения кремниевых пластин.

Обе технологии являются ключевыми для функционирования микроэлектронной промышленности.